久久久久久99,亚洲一区二区三区首页欧美 ,日韩一区二区三区精品色欲,国产精品玖玖玖在线观看

精密光學(xué)加工2:小口徑與大口徑對(duì)比
09-30-2022
精密光學(xué)加工2:小口徑與大口徑對(duì)比


目錄


1. 小口徑和大口徑是如何劃分的?


2. 小口徑和大口徑加工工藝的區(qū)別,孰難孰易?


3. 國(guó)內(nèi)上市公司所在的區(qū)間


在之前的文章中我們介紹了光學(xué)加工(冷加工)的技術(shù)路線,我們也提到了這個(gè)加工工藝流程中并不是所有的光學(xué)鏡片用到的加工技術(shù)和設(shè)備都是相同的,其中典型的就是大口徑和小口徑的光學(xué)元組件在加工過(guò)程中需要用到的設(shè)備和加工的工藝技術(shù)是有區(qū)別的。今天我們就來(lái)看看小口徑和大口徑之間的區(qū)別,不同的企業(yè)之間他們是如何在光學(xué)加工這個(gè)坐標(biāo)系中劃分自己占有的市場(chǎng)的。
小口徑和大口徑是如何劃分的?


對(duì)于鏡片大小尺寸的區(qū)分沒(méi)有嚴(yán)格統(tǒng)一的劃分標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)查閱相關(guān)的論文和文獻(xiàn),整理得到通常可以將直徑口徑在200mm以下的鏡片(以非球面為參考,對(duì)于棱鏡是用長(zhǎng)度200mm為分界線來(lái)劃分大小的)稱(chēng)為中小口徑,直徑口徑大于200mm的鏡片可以稱(chēng)為大口徑。我們將不同口徑劃分區(qū)間進(jìn)行詳細(xì)的剖分得到如下示意圖:
圖片


隨著口徑的增加,應(yīng)用場(chǎng)景覆蓋范圍逐步縮減。小口徑的鏡頭在民品方面應(yīng)用在諸如安防攝像頭、車(chē)載攝像頭、顯微鏡等領(lǐng)域,中等口徑的通常在一些小型的天文望遠(yuǎn)鏡等場(chǎng)景,軍品方面一些中小型的光電吊艙的鏡頭、激光雷達(dá)、光電打擊系統(tǒng)等;大型或者超大型的鏡片通常需要定制開(kāi)發(fā),針對(duì)特定的應(yīng)用場(chǎng)景加工,比如我們熟知的哈勃、韋伯天文望遠(yuǎn)鏡的主鏡面,直徑都是超過(guò)m量級(jí)的。這里我們簡(jiǎn)單整理一下不同口徑鏡頭的應(yīng)用以及對(duì)應(yīng)的口徑大小。
小口徑:0-50mm


應(yīng)用方向


口徑大小(單位:mm)


安防攝像頭


<60


顯微鏡


20-30


車(chē)載DVR(一款隱藏式寬FOV)[1]


12


手術(shù)室自由曲面LED無(wú)影燈[3]


40-50


頭盔顯示光學(xué)系統(tǒng)(長(zhǎng)光所)[3]


<40


太赫茲光學(xué)準(zhǔn)直和聚焦[4]


25.4-38


微透鏡陣列[5]


0.032-1.5(單元孔徑)


手機(jī)攝像頭


<10


車(chē)載視覺(jué)鏡頭


10-50


中口徑:50-200mm


應(yīng)用方向


口徑大?。▎挝唬簃m)


小型天文望遠(yuǎn)鏡[2]


70-200


激光雷達(dá)光學(xué)口徑


100


大口徑:200-400mm


應(yīng)用方向


口徑大?。▎挝唬簃m)


半導(dǎo)體DUV光學(xué)鏡頭


100-300


哈勃空間望遠(yuǎn)鏡次鏡


300


超大口徑:>400mm


應(yīng)用方向


口徑大小(單位:mm)


SiC非球面反射面(國(guó)防科大07年)


500


美國(guó)National Ignition Facility


500-1000(單片子鏡)


哈勃空間望遠(yuǎn)鏡主鏡


2400


美國(guó)的KH-12主鏡直徑


3800


韋伯太空望遠(yuǎn)鏡


1300(單片子鏡)


美國(guó)大麥哲倫望遠(yuǎn)鏡


8400(單片子鏡)


小口徑和大口徑加工工藝的區(qū)別,孰難孰易?


上面我們簡(jiǎn)單介紹了小口徑和大口徑的劃分以及他們的部分應(yīng)用場(chǎng)景,接下來(lái)我們將討論一下在實(shí)現(xiàn)工藝中兩者的區(qū)別。有的人會(huì)覺(jué)得加工小尺寸的東西一定比加工大尺寸的東西要更難,因?yàn)樾∪缓笥忠龅礁呔群茈y;也有人覺(jué)得加工大口徑的東西更難,因?yàn)橐谶@么大面積上面保證每個(gè)地方的精度都保持很高難度很大。我們首先來(lái)看看非球面透鏡的小口徑和大口徑在制造工藝、工序、關(guān)鍵技術(shù)以及檢測(cè)有什么區(qū)別。
1. 加工工序和研磨拋光技術(shù)的差異
小口徑
小口徑加工的生產(chǎn)工藝可以分為銑磨成型、數(shù)控拋光和檢驗(yàn)檢測(cè)三個(gè)階段,如下圖所示[6]:
圖片


小口徑的非球面加工技主要有單點(diǎn)金剛石車(chē)削技術(shù)(SPDT)、超精密磨削銑削、成型技術(shù)(見(jiàn)擴(kuò)展閱讀)和特種加工技術(shù)。普遍采用的超精密車(chē)削和磨削的方法大量應(yīng)用在熱成型的模具制造過(guò)程中。因?yàn)樾】趶降膽?yīng)用范圍廣泛、需求數(shù)量大,單件加工不具備經(jīng)濟(jì)效應(yīng),因此主要還是以成型技術(shù)為主。小口徑的超精密加工主要還是針對(duì)模具來(lái)看的。如果針對(duì)單件的小口徑加工來(lái)看也可以采用與大口徑相同的工藝順序,結(jié)合小工具拋光實(shí)現(xiàn)。
單純依靠超精密車(chē)削和磨削,會(huì)在零件表面留下加工痕跡和表面缺陷,達(dá)不到加工精度要求,因此后續(xù)還需要超精密拋光加工來(lái)進(jìn)一步提高表面質(zhì)量。
小口徑加工主要面臨以下幾個(gè)難點(diǎn):
精度非球面光學(xué)元件僅依靠超精密車(chē)削和磨削,表面質(zhì)量難以達(dá)到要求。對(duì)于小口徑非球面模具的超精密磨削,工件表面不僅殘留有規(guī)則的磨痕,而且不可避免的產(chǎn)生品格錯(cuò)位、裂紋、殘余應(yīng)力、加工硬化等各種加工缺陷;


口徑小,易引起干涉。小口徑非球面的加工空間狹小(<10mm),普通的加工工具難以對(duì)其進(jìn)行拋光,工業(yè)界目前主要采用手工拋光的方式,但是勞動(dòng)強(qiáng)度大、加工效率低、加工質(zhì)量不穩(wěn)定。另外傳統(tǒng)的粘彈性拋光頭結(jié)臺(tái)游離磨料的拋光工藝,不同形狀、不同尺寸的工件需要專(zhuān)門(mén)的拋光工具,適應(yīng)性不強(qiáng)。因此傳統(tǒng)研拋技術(shù)在加工效率、精度、自動(dòng)化以及加工形面的適應(yīng)性等方面難以滿足;


磁流變拋光作為一種先進(jìn)的光學(xué)加工技術(shù),具有加工過(guò)程確定可控、加工結(jié)果精確可測(cè)以及高精、高效等特點(diǎn),在小口徑非球面超精密拋光中廣泛被使用。
擴(kuò)展閱讀:小口徑或者超小口徑實(shí)現(xiàn)方法主要是熱成型法(適用于大批量生產(chǎn),這里我們做簡(jiǎn)單的介紹),加工過(guò)程中需要利用到高溫、高熱,并嚴(yán)格控制溫度、時(shí)間等參數(shù)實(shí)現(xiàn)的加工路線,包括了光學(xué)玻璃模壓成型(>100mm的非球面可大批量生產(chǎn),精度可達(dá)nm量級(jí))和光學(xué)塑料注射成型(<100mm的非球面透鏡可大批量生產(chǎn))兩種方法。光學(xué)玻璃的熱壓成型技術(shù)的基本原理就是利用光學(xué)玻璃在不同溫度下具有不同的物理性質(zhì),在常溫下,玻璃硬脆,在高溫下具有粘流性[7]。


上圖中表示了某類(lèi)玻璃材料隨溫度升高的熱膨脹狀態(tài)。當(dāng)溫度達(dá)到Tg(轉(zhuǎn)變點(diǎn))的時(shí)候,光學(xué)玻璃由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榭伤軕B(tài)。當(dāng)溫度繼續(xù)上升達(dá)到Sp(軟化點(diǎn)),呈現(xiàn)流體性質(zhì)。
其中模壓成型的工藝如下圖所示:


大口徑
大口徑非球面透鏡加工一般來(lái)說(shuō)說(shuō)需要經(jīng)過(guò)一個(gè)復(fù)雜且漫長(zhǎng)的過(guò)程(加工面的大小決定了加工時(shí)間),周期較長(zhǎng),其主要的工藝流程包括了銑磨成型、粗磨、精磨、粗拋光、精拋光、鍍膜等環(huán)節(jié),同時(shí)每一個(gè)環(huán)節(jié)都必須要配備對(duì)應(yīng)的一種或者多種檢測(cè)手段來(lái)保證工藝流程的高效運(yùn)行。上一篇文章中我們已經(jīng)提到了對(duì)于光學(xué)元件最重要的環(huán)節(jié)之一——拋光,在面向大口徑的加工中還有一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)——研磨(研磨影響了整體加工的效率和后續(xù)加工費(fèi)時(shí)、精度)[8]。
傳統(tǒng)研拋技術(shù):采用和工件口徑相當(dāng)(0.8-1倍)的磨盤(pán)對(duì)工件進(jìn)行全域研磨。主要應(yīng)用在中小口徑的非球面加工,其依賴(lài)人工經(jīng)驗(yàn),效率低、勞動(dòng)強(qiáng)度大、無(wú)法保證加工穩(wěn)定性。加工大口徑的效率很低,典型的如美國(guó)的2.5m胡可望遠(yuǎn)鏡加工時(shí)間6年,帕洛瑪5m望遠(yuǎn)鏡耗時(shí)14年,我國(guó)上世紀(jì)80年代完成的2.16m望遠(yuǎn)鏡耗時(shí)7年。
計(jì)算機(jī)控制表面成形技術(shù)(Computer controlled optical surfacing, CCOS)又叫計(jì)算機(jī)控制小磨頭加工(磨頭直徑一般為工件的1/8-1/15[9]),通過(guò)多軸聯(lián)動(dòng)的數(shù)控機(jī)床來(lái)控制磨頭的公自轉(zhuǎn)、壓力、駐留時(shí)間保證材料去除量,結(jié)合反復(fù)的檢測(cè)和加工保證面形精度。計(jì)算機(jī)控制極大的提高了效率,美國(guó)的Tinsley實(shí)驗(yàn)室研究CCOS技術(shù)已經(jīng)三十多年,在2006年利用該技術(shù)將JWST主鏡的一個(gè)單片鏡RMS從49.1um提高到1.46um,耗時(shí)3個(gè)月。對(duì)于CCOS的技術(shù)的不足請(qǐng)參閱《精密光學(xué)加工行業(yè)簡(jiǎn)介》中拋光的介紹。
可控柔體光學(xué)制造技術(shù):這一類(lèi)技術(shù)是隨著計(jì)算機(jī)科學(xué)、材料科學(xué)、控制技術(shù)的發(fā)展而演變出來(lái)的,有應(yīng)力盤(pán)拋光、氣囊拋光、磁流變拋光、射流拋光、離子束拋光等技術(shù)。
應(yīng)力工件變形加工技術(shù):對(duì)工件施加應(yīng)力使之變形,加工成球面后釋放應(yīng)力得到非球面。Keck望遠(yuǎn)鏡主鏡的離軸非球面子鏡,VLT超大望遠(yuǎn)鏡4個(gè)8.4m主鏡,TMT的子鏡都是用這種方法實(shí)現(xiàn)的。
應(yīng)力盤(pán)拋光:對(duì)研拋盤(pán)進(jìn)行主動(dòng)變形來(lái)實(shí)現(xiàn)(拋光盤(pán)一般是主鏡直徑的1/3-1/5),通過(guò)計(jì)算機(jī)控制應(yīng)力盤(pán)的變形,在徑向平移和旋轉(zhuǎn)過(guò)程中與被加工面貼合,是。在1990s,美國(guó)SOML用該技術(shù)先后加工了1.2-8.4m直徑的多個(gè)大型非球面反射鏡。
射流拋光:針對(duì)復(fù)雜光學(xué)曲面加工,通過(guò)噴嘴噴射出混油磨料粒子的高速拋光液作用于表面,離子間的高速碰撞和剪切去除材料。美國(guó)QED公司在此基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)了磁射流拋光技術(shù),是磁流變技術(shù)和射流技術(shù)的結(jié)合。
關(guān)于氣囊拋光、磁流變、離子束技術(shù)(目前達(dá)到精度最高的技術(shù),nm量級(jí),甚至0.幾nm量級(jí))參見(jiàn)文章《精密光學(xué)加工行業(yè)簡(jiǎn)介》。
可控柔體加工技術(shù)是計(jì)算機(jī)科學(xué)、材料科學(xué)、控制技術(shù)等多個(gè)學(xué)科的集合,也目前世界上最先進(jìn)的光學(xué)加工工藝[10]。我們把上面介紹到的技術(shù)大致分為三類(lèi):基于數(shù)控機(jī)床的接觸式——CCOS;基于彈性力學(xué)基礎(chǔ)理論——應(yīng)力工件變形拋光技術(shù)、應(yīng)力盤(pán)拋光技術(shù);基于多能場(chǎng)——磁流變拋光技術(shù)、離子束拋光技術(shù)。其中基于數(shù)控機(jī)床的接觸式,在一些粗磨、精磨以及粗拋的過(guò)程中應(yīng)用較多;基于彈性力學(xué)基礎(chǔ)理論的技術(shù)是實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)非球面鏡高效率研拋的主要手段;基于多能場(chǎng)的是實(shí)現(xiàn)大口徑非球面最終高精度面形要求的必要手段。
大口徑光學(xué)非球面的實(shí)際加工一定是多種加工技術(shù)的組合,才能保證加工效率和精度。從先進(jìn)光學(xué)加工的發(fā)展趨勢(shì)來(lái)說(shuō), 以能流束拋光技術(shù)(如磁流變拋光、離子束、射流體)為代表的第三代可控柔體加工技術(shù)是未來(lái)大型非球面鏡高精度光學(xué)加工的發(fā)展方向。
2. 檢測(cè)技術(shù)的差異
大口徑的檢測(cè)技術(shù):
和光學(xué)加工過(guò)程一樣,非球面的光學(xué)檢測(cè)相對(duì)于平面來(lái)說(shuō)也是非常困難的。與小口徑相比,大口徑的非球面光學(xué)檢測(cè)難度要更高。
非球面的光學(xué)檢測(cè)按照原理可以分為坐標(biāo)測(cè)量、幾何光線測(cè)量和光學(xué)干涉測(cè)量。
坐標(biāo)測(cè)量(研磨階段測(cè)量):有接觸式和非接觸式,常見(jiàn)的設(shè)備有三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和輪廓儀,先利用高精度的位移傳感器對(duì)待測(cè)面上離散的點(diǎn)進(jìn)行掃描測(cè)量,得到各點(diǎn)的三維坐標(biāo),然后通過(guò)數(shù)學(xué)插值重構(gòu)出全口徑的三維面形,最后與非球面的理論面形比較獲得最終的面形誤差。理論上,可以得到被測(cè)面的所有幾何參數(shù)。該方法是光學(xué)制造中實(shí)現(xiàn)在位測(cè)量的重要方法,好處在于其能保證加工坐標(biāo)系和測(cè)量坐標(biāo)系一致,并且避免大型非球面工件的搬運(yùn)帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn),對(duì)于提高大口徑非球面研拋效率有重要意義。
傳統(tǒng)的接觸式坐標(biāo)測(cè)量存在劃傷表面的風(fēng)險(xiǎn),并且其測(cè)量精度受限于位移傳感器和測(cè)頭的定位精度。因此,傳統(tǒng)的坐標(biāo)測(cè)量,比如三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、輪廓儀以及激光跟蹤儀,常見(jiàn)于光學(xué)研磨階段的面形檢測(cè)。
高靈敏度的非接觸式光學(xué)探針解決了坐標(biāo)測(cè)量的表面劃傷問(wèn)題,測(cè)量精度不斷提高,已經(jīng)達(dá)到了幾十納米。
幾何光線測(cè)量技術(shù):


我們結(jié)合光學(xué)加工的工序來(lái)看,從粗磨、精磨、粗拋到精拋,不同的環(huán)節(jié)形成的面形精度都不同,從幾十um到nm量級(jí),中間跨越了兩個(gè)數(shù)量級(jí)的精度。因此對(duì)檢測(cè)方法的大動(dòng)態(tài)范圍和較高的測(cè)量精度提出了要求。幾何光線測(cè)量技術(shù)利用幾何光學(xué)原理對(duì)表面進(jìn)行檢測(cè),能夠滿足上述兩個(gè)要求。常見(jiàn)的防范有刀口法、哈特曼光闌法、夏克-哈特曼波前探測(cè)法、結(jié)構(gòu)光條紋反射技術(shù)等。
干涉測(cè)量技術(shù):


利用一個(gè)較高面形精度的參考鏡來(lái)對(duì)被測(cè)鏡進(jìn)行檢測(cè),攜帶有參考面信息的參考光與攜帶有被測(cè)面信息的被測(cè)光發(fā)生干涉,生成干涉條紋并被成像探測(cè)器記錄,利用相位恢復(fù)算法可以從干涉條紋中復(fù)原出被測(cè)面的面形誤差。干涉測(cè)量精度高,采樣點(diǎn)豐富,測(cè)量周期短,是光學(xué)件面形高精度檢測(cè)所廣泛采用的終檢手段。甚至可以稱(chēng)得上高精度光學(xué)檢測(cè)的代名詞,現(xiàn)已成為光學(xué)車(chē)間檢測(cè)的主流技術(shù)。
在大口徑非球面的檢測(cè)中主要面臨兩個(gè)技術(shù)難題,如何解決這兩個(gè)問(wèn)題是現(xiàn)代光學(xué)干涉測(cè)量所重點(diǎn)研究的方向:
一般數(shù)字波面干涉儀只能生成平、球面參考波前,無(wú)法直接用于非球面的零位干涉測(cè)量;
對(duì)測(cè)量環(huán)境有較高的要求,大口徑非球面的干涉測(cè)量檢測(cè)光路通常很長(zhǎng),一般無(wú)法通過(guò)物理隔振的方式實(shí)現(xiàn)。


常用的技術(shù)方法有以下兩大類(lèi):
非零位干涉測(cè)量:利用普通的波面干涉儀對(duì)非球面直接進(jìn)行無(wú)補(bǔ)償測(cè)量,該技術(shù)方向重點(diǎn)集中在如何解決得到的干涉條紋密集而導(dǎo)致CCD無(wú)法解析的問(wèn)題。


零位干涉測(cè)量:大口徑非球面光學(xué)拋光主要采用的方法。過(guò)對(duì)被測(cè)非球面的數(shù)學(xué)表達(dá)式進(jìn)行分析,計(jì)算出非球面上各帶的法線與光軸焦點(diǎn)的位置和角度。通過(guò)設(shè)計(jì)相應(yīng)的補(bǔ)償器件可保證干涉儀出射的標(biāo)準(zhǔn)球面波經(jīng)過(guò)補(bǔ)償器后變成非球面波,并恰好沿著被測(cè)非球面的法線入射且能原路返回,實(shí)現(xiàn)非球面像差的補(bǔ)償從而實(shí)現(xiàn)零位測(cè)量。理論上, 零位干涉圖可以是全明或者全暗的零條紋狀態(tài),不存在非共光路引入的回程誤差。因此,零位干涉測(cè)量是高精度干涉檢測(cè)必須考慮的測(cè)試方法[8]。


小口徑的檢測(cè)技術(shù):
和大口徑的檢測(cè)技術(shù)相類(lèi)似,小口徑的檢測(cè)技術(shù)主要也是坐標(biāo)測(cè)量(主要是直接面型輪廓法)、幾何光學(xué)測(cè)量以及干涉法。
小口徑的檢測(cè)相對(duì)大口徑要更容易實(shí)現(xiàn),典型的比如在干涉法檢測(cè)中,因?yàn)樾】趶降谋砻嬷懈缮婀饩€的光路路徑短,對(duì)環(huán)境的要求沒(méi)有大口徑的高;口徑小,檢測(cè)面積小,同等檢測(cè)要求下檢測(cè)耗時(shí)少,效率高。
總結(jié):


小口徑


大口徑


加工工藝


大批量:成型工藝,屬于熱工藝,采用超精密模具,模具精度對(duì)成型精度起決定性作用;工序相對(duì)簡(jiǎn)單、成本較低、效率較低;


單件:可采用粗磨、精磨、拋光到鍍膜的工序;


通常為單件加工或者小批量制造,工序復(fù)雜、加工成本高、周期長(zhǎng)、對(duì)設(shè)備要求高;


研/拋技術(shù)


單點(diǎn)金剛石車(chē)削技術(shù)(SPDT)、超精密磨削銑削、成型技術(shù)和特種加工技術(shù),適用于小口徑的研磨、拋光技術(shù)較少;磁流變技術(shù)是主要應(yīng)用的技術(shù)


多種不同的技術(shù)可以采用,根據(jù)需要加工的工件、結(jié)合成本、時(shí)間選擇。復(fù)雜且漫長(zhǎng)的過(guò)程


檢測(cè)


檢測(cè)時(shí)間短、難度小


檢測(cè)時(shí)間長(zhǎng)、難度大


需求


大批量、通用性


小批量、定制化


大口徑的光學(xué)組件從加工工序的復(fù)雜程度、設(shè)備要求、設(shè)備數(shù)量、加工成本、加工周期以及檢測(cè)難度來(lái)看相對(duì)小口徑都較難;


大口徑小批量、定制化的特點(diǎn)決定了其需要針對(duì)特定的應(yīng)用進(jìn)行加工,耗時(shí)耗力,成本更高;




國(guó)內(nèi)上市公司所在的區(qū)間?


這里我們總結(jié)了國(guó)內(nèi)上市公司中產(chǎn)品和技術(shù)相似的幾家公司,參考了他們各自的招股說(shuō)明書(shū)公開(kāi)的信息,并以圖表的方式將他們目前具備的加工的尺寸范圍進(jìn)行了劃分,如下圖所示:




從結(jié)果中我們可看到,大部分公司的加工能力集中在400mm以下的口徑,其中以50-300之間最為普遍。僅有少數(shù)公司的少數(shù)產(chǎn)品加工口徑能夠達(dá)到超大口徑的范圍,這一類(lèi)產(chǎn)品多用于大型天文望遠(yuǎn)鏡等場(chǎng)景,產(chǎn)品多為定制開(kāi)發(fā)。
參考文獻(xiàn):


[1] https://www.smartautoclub.com/p/29408/
[2]https://oncoursewares.com/products/telescope-70mm-aperture-500mm-for-kids-adults-astronomical-refracting-portable-telescopes-az-mount-fully-multi-coated-optics-with-tripod-phone-adapter-wireless-remote-carrying-bag
[3]王守義.小口徑自由曲面光學(xué)元件的補(bǔ)償加工技術(shù)[D].西安工業(yè)大學(xué),2021
[4]https://www.menlosystems.com/cn/products/thz-antennas-and-components/thz-lenses/
[5]https://www.highlightoptics.com/upload/20210827/%E6%B5%B7%E7%BA%B3%E5%85%89%E5%AD%A6%E4%BA%A7%E5%93%81%E7%9B%AE%E5%BD%952021.pdf
[6]鄭爽.高精度小口徑非球面加工工藝研究[D].長(zhǎng)春理工大學(xué),2013;
[7]龔峰.光學(xué)玻璃精密模壓成型設(shè)備模具研制[D].深圳大學(xué),2017;
[8]劉鋒偉,吳永前,陳強(qiáng),等. 大口徑光學(xué)非球面鏡先進(jìn)制造技術(shù)概述[J]. 光電工程, 2020, 47(10): 200203
[9]鄭立功. 離軸非球面 CCOS 加工過(guò)程關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 長(zhǎng)春: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所, 2003.
[10] 李圣怡, 戴一帆. 大中型光學(xué)非球面鏡制造與測(cè)量新技術(shù)[M]. 北京: 國(guó)防工業(yè)出版社, 2011: 5–34.

文章出處:南京CNC加工http://m.depontis.com/cn/info_15.aspx?itemid=668