半球諧振子超精密加工技術(shù)現(xiàn)狀
半球諧振子作為陀螺的敏感部件，是半球諧振陀螺的核心，其加工面形精度、位置精度和表面質(zhì)量是影響半球諧振陀螺精度和性能的最關(guān)鍵因素。半球諧振子加工精度越高，越接近理想諧振子狀態(tài)，陀螺精度越高?。
半球諧振子材料為熔融石英材料，形狀為帶有中心支撐桿的半球形薄壁殼體，直徑一般為φ15～60mm，壁厚一般為0.3～1.1mm，具有薄壁、異形復(fù)雜結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，其尺寸精度、面形精度、球心位置精度、表面微觀質(zhì)量等要求很高，加工難度很大?。
石英玻璃作為一種典型的硬脆材料，機(jī)械加工過(guò)程中易產(chǎn)生微裂紋等表面缺陷，會(huì)對(duì)半球諧振子的品質(zhì)因數(shù)、陀螺儀精度和性能造成顯著影響，因此需要采用特殊的加工工藝和表面缺陷檢測(cè)與消除技術(shù)來(lái)確保半球諧振子的品質(zhì)?。
此外，超精密檢測(cè)技術(shù)也是半球諧振子超精密加工技術(shù)的重要組成部分，包括諧振子在線/在位精密檢測(cè)技術(shù)、整體或部分球面的超精密檢測(cè)技術(shù)以及超精密檢測(cè)裝備等，這些技術(shù)為半球諧振子的質(zhì)量檢查和控制提供了重要手段?。
綜上所述，半球諧振子超精密加工技術(shù)現(xiàn)狀是對(duì)加工精度和表面質(zhì)量有著極高的要求，需要采用特殊的加工工藝和檢測(cè)技術(shù)來(lái)確保半球諧振子的品質(zhì)和性能。
